干式分子泵組是真空技術(shù)中的一種高1端配置，專為要求更加潔凈、無油污染的高真空/超高真空系統(tǒng)設(shè)計。它通常由兩個核心部分組成：干式前級機械泵泵和分子泵。這種組合完1全摒棄了傳統(tǒng)真空泵中的油或脂潤滑，從大氣壓到超高真空全程保持系統(tǒng)潔凈，消除碳氫化合物污染風險。

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造， 晶圓廠的核心工藝設(shè)備（刻蝕機、CVD、PVD、ALD、離子注入機）；高1端光學鍍膜： 激光反射鏡、天文望遠鏡鏡片、光刻鏡頭鍍膜；表面科學與分析；

掃描/透射電子顯微鏡 (SEM/TEM) 樣品室要求嚴苛的科研與材料開發(fā)。

雖然初始成本高昂，但其潔凈度、卓1越的真空性能、極低的維護需求和長壽命，使其在半導(dǎo)體、尖1端科研和分析儀器等對真空環(huán)境要求近乎苛刻的領(lǐng)域成為不可替代的標準配置。