手動探針臺通常由堅固穩(wěn)定的主體框架、探針支架與探針、承片臺以及顯微鏡等部分組成。主體框架多為金屬材料制成,保障了整個系統(tǒng)的穩(wěn)定和耐用;探針支架可裝載探針,并能在水平和垂直方向上進(jìn)行微小移動及調(diào)整;承片臺用于放置待測器件;顯微鏡則輔助觀察。
測試人員把要測量的芯片放在承片臺上,借助顯微鏡的放大功能,利用X-Y移動機(jī)構(gòu)找到需探測的位置。之后,通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z三向旋鈕,操控前部的探針(射頻或直流探針)準(zhǔn)確地扎到被測點。當(dāng)探針接觸到被測點后,便建立起電氣連接。此時,可以將信號源接入,向芯片施加準(zhǔn)確的電壓或頻率信號。同時,使用高精度示波器等檢測設(shè)備,對芯片產(chǎn)生的電信號進(jìn)行細(xì)致分析,以此準(zhǔn)確評估芯片的電參數(shù)和整體性能。
手動探針臺的使用注意事項:
1.穩(wěn)定性保障:在使用手動探針臺時,要確保其底座穩(wěn)固并可靠固定,以避免不必要的晃動或移位,從而保證測量的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
2.高度調(diào)節(jié)適宜:根據(jù)測試目標(biāo),合理調(diào)整手動探針臺的高度,使得探針能夠輕松接觸到測試點。通常可以使用手動旋鈕或升降裝置來調(diào)整高度。
3.準(zhǔn)確定位操作:對于微小尺寸的測試點,可以使用顯微鏡或放大鏡來輔助準(zhǔn)確定位,確保探針準(zhǔn)確地接觸到所需測量的位置。
4.謹(jǐn)慎控制施力:在接觸測試點時,嚴(yán)格控制施加到探針上的力度,避免因過度施力導(dǎo)致測試點損壞,或因施力過輕造成不良接觸。
5.遵守安全規(guī)范:在使用探針臺時需要遵守使用手冊內(nèi)的各項安全條例,如避免潮濕場所、禁止在高溫環(huán)境下使用等;運(yùn)輸時應(yīng)先拔掉電源線插頭,并使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺的任何運(yùn)動部件。
6.日常維護(hù)保養(yǎng):使用完后需要注意保持設(shè)備清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵影響機(jī)械精度和電氣性能;定期檢查設(shè)備的各部件是否正常工作,及時發(fā)現(xiàn)并排除潛在故障。