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離子濺射儀

產品簡介

KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發功率可控蒸發鍍膜儀離子濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動擋板功能。通過定時調節預熱功率及蒸發功率，可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

產品型號：

更新時間：2024-03-27

廠商性質：生產廠家

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材料樣品處理

真空回流焊爐冷阱電解槽小型蒸鍍儀小型濺射儀等離子清洗機

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品牌	鄭科探	價格區間	面議
產地類別	國產	應用領域	電子/電池

KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發功率可控蒸發鍍膜儀離子濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動擋板功能。通過定時調節預熱功率及蒸發功率，可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。離子濺射儀

參數

設備名稱	小型濺射儀	小型蒸鍍儀
控制方式	7寸人機界面手動自動模式切換控制	7寸人機界面手動自動模式切換控制
工作電源	直流濺射電源	直流熱蒸發電源
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1000W	≤1500W
輸出電壓電流	電壓≤1000V 電流≤1A	電壓≤12V 電流≤100A
真空	機械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
腔體真空	≤30Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm	石英腔體φ160mm x 160mm
樣品臺	可旋轉φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉速	8轉/分鐘
樣品濺射源調節距離	40-105mm	70-140mm
蒸發坩堝容積		3ML
蒸發溫度調節		≤1600℃
真空測量	皮拉尼真空計（已安裝測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
預留真空接口	KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
可選配擴展	1 膜厚在線測試 2 分子泵

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